El horno de vacío, un dispositivo diseñado para un entorno específico, el principio es que a través del sistema de vacío, el material en la cámara del horno se elimina para crear un entorno de vacío por debajo de la presión atmosférica estándar. Este proceso permite que el equipo funcione al vacío y es adecuado para una variedad de procesos.
La estructura del horno de vacío incluye principalmente horno, elemento de calentamiento, sistema de control de temperatura, sistema de vacío, sistema de enfriamiento de agua y caparazón de horno sellado. El horno se divide en acero inoxidable, fibra de cerámica, lámina de molibdeno y grafito y otros materiales, la temperatura máxima puede alcanzar 2200 ℃. Los elementos de calentamiento como el alambre de resistencia, la varilla de carbono de silicio, la varilla de molibdeno de alambre de molibdeno, la varilla de molibdeno de silicio, el grafito y la bobina de inducción, la temperatura más alta también alcanzó 2200 ℃. El sistema de vacío está compuesto de válvulas de vacío, bombas mecánicas, bombas de difusión, bombas de raíces, etc., para lograr el vacío más alto de 7 × 10-3pa. El sistema de enfriamiento de agua garantiza el funcionamiento normal del equipo según el tamaño del horno. La carcasa del horno sellado debe tener un buen rendimiento de sellado para cumplir con los requisitos del grado de diseño de vacío.
Según el método de calentamiento, el horno de vacío se puede dividir en horno de resistencia al vacío, horno de inducción de vacío, horno de arco eléctrico de vacío, horno de arco eléctrico de consumo de aspiración, horno de haz de electrones (horno de bombardeo de electrones) y horno de plasma. Estos dispositivos se utilizan ampliamente en sinterización de vacío de alta temperatura, recocido, templado, tratamiento de envejecimiento de materiales cerámicos, materiales compuestos de metal cerámico, metales refractarios, materiales de aleación y soldadura de vacío de herramientas de aleación y materiales superhalades.