Horno de deposición al vacío

Horno de deposición al vacío

El horno de deposición al vacío se utiliza para la preparación de materiales compuestos de carbono-carbono, y el horno de deposición se utiliza principalmente para la preparación de recubrimientos de carbono pirolítico sobre la superficie de grafito, dispositivos semiconductores y materiales de socavación resistentes al calor.

Ámbito de aplicación:

Grafito, dispositivos semiconductores, materiales abrasivos resistentes al calor.

1. Parámetros básicos:

1) Temperatura de diseño: 1250 ℃/1650 ℃/1800 ℃/2200 ℃

2) Temperatura común: 900~1200℃

3) Grado de vacío: < 50Pa

4) Tasa de aumento de presión: 6,67 pA /h (o 150 Pa/24 h) en estado frío del horno vacío

5) Modo de calentamiento: calentamiento por resistencia de grafito o calentamiento por inducción, control de temperatura independiente, buena uniformidad de temperatura

6) Medio ambiente: vacío /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Modo de control de gas: control del medidor de flujo másico, ruta de gas multicanal, campo de flujo uniforme, sin ángulo muerto de deposición, buen efecto de deposición;

Sistema de tratamiento de gases de escape eficiente y de múltiples etapas, respetuoso con el medio ambiente, fácil de limpiar;

8) Tipo de horno: estructura cuadrada, redonda, vertical u horizontal (diseño no estándar), cámara de deposición completamente cerrada, buen efecto de sellado, fuerte capacidad anticontaminación;

9) Modo de enfriamiento del horno: enfriamiento por agua de la carcasa del horno, se puede seleccionar un sistema de enfriamiento rápido de circulación externa, tiempo de enfriamiento corto, alta eficiencia de producción;

2. Estructura del horno de deposición al vacío:

Forma de la estructura: horizontal - descarga lateral, vertical - descarga arriba/abajo

Modo de bloqueo de la puerta del horno: manual/automático

Material de la carcasa del horno: interior de acero inoxidable/todo acero inoxidable

Material de aislamiento: fieltro de carbono/fieltro de grafito/fieltro curado con fibra de carbono

Material calefactor, mufla: grafito /CFC

Instrumento infrarrojo: colorimétrico simple/colorimétrico doble

Fuente de alimentación: KGPS/IGBT (solo apto para calefacción de frecuencia media)

3 、Producto  Especificación